测量系统:光电式增量光栅尺,光学刻度20μm
测头不确定度:2.5μm
空间测量不确定度:2.0 + L/1000(单位:μm)
操作杆操作:0-20mm/s(慢速模式),0-100mm/s(正常模式)
CNC模式(Vmax):单轴300mm/s,空间520mm/s
CNC模式(αmax):单轴900mm/s2,空间1500mm/s2
压缩空气:供气压力4-10bar,要求过滤至ISO8573-1,标准4级或更高
使用环境条件及工作时间:
机室温度: 20℃±2℃
机室温度大梯度: 1℃/m,1℃/h,2℃/d
机室湿度:60%±5%
供气压力:﹥0.5MPa
空气流量:160 L/min
振动频率范围:0-19Hz 19-75Hz >75Hz
振动振幅:0.0011mm 0.0011-0.002mm 0.002mm
电压:220V±10%
频率:50-60HZ
电流:15A
耗电量:﹤800W
备注:用电设备要求接地可靠:接地电阻小于4欧姆
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