WT60-60KW直流磁控溅射镀膜电源

主要技术参数

产品名称

60KW直流磁控溅射镀膜电源

产品型号

WT60

产品品牌

跃迁

电源类型

全数控智能电源

输入电压：

AC380V±10%

输出

功率:

60KW

电流:

DC 0~value="75" unitname="a">75A

电压:

工作电压-200~ -800V,空载电压> -1KV

波形

单极直流

方式

自定义恒压、恒流、恒功率

调节精度

≤1%

效率

≥90%

功率因数

cosΦ≥0.9

控制方式:

电源面板按键控制

模拟信号控制：TTL电平，可以控制工作停止，输出电压或输出电流或输出功率，外部开路保护（一般用于水流保护）

数字接口控制：485通讯。也可以定制232接口

物联网WIFI连接，远程网络监控

显示方式:

中英文液晶显示

显示内容：

工作状态，输出电压，输出电流，设定值

输出保护

输出过压，输出过流，输出失调

输入保护

输入过压，输入欠压，输入过流，缺相

安全保护

接地保护，漏电保护，外控保护,防雷保护，过热

绝缘等级

B级

防护等级

IP20

保护响应时间

1uS

输入

对外壳电阻

≥value="20" unitname="m">20MΩ

输出

输入对外壳耐压

2000V/1min

输入对输出耐压

3500V/1min

使用环境

温度：

0～value="35" unitname="℃">35℃

湿度：

≤85%

冷却方式：

水冷

外形尺寸：

600*230*600（mm ）宽高深

特点 :

体积小，重量轻，结构简单，操作简单，稳定可靠

动态抑弧功能，不易产生电弧，负载适应范围宽

备注：

出厂默认为模拟接口

故障提示

智能故障检测分析,上限点故障报警，有参数设置出错,人为操作出错,电源内部因素的多级号报错序列。