XP-62X一维X向压电纳米定位台15μm-60μm
特性
•大行程60μm•亚毫秒响应时间•大承载10kg•1~3维自由组合•重复定位精度可达0.05%F.S.
1~3维平移
产品外观
直驱机构式驱动示意图
大负载、高刚度、高谐振频率、高稳定性
传感器类型
频率负载曲线
XP-62X系列压电纳米定位台采用压电陶瓷直驱机构，优异的柔性铰链设计，具有高刚度、高频响等特点，刚度可达40N/μm，空载谐振频率高达4.2kHz，适用于需要大负载、高频率需求的应用，如电化学加工等。
XP-62X系列压电平台内置带有预紧力的封装型压电陶瓷，平台采用有限元建模分析、柔性铰链导向机构，无磨损、免维护，提供*的稳定性。该产品易于与其他宏动台产品集成配套，实现更大行程的精密定位。
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